高纯电子新材料项目(合肥先微半导体材料有限公司)

大型

项目详情:项目建设背景:此项目是公司为扩大生产规模,提高市场占有率而规划建设;项目建设内容:合肥先微半导体材料有限公司拟投资50205.9万元建设生产线,占地面积54 亩,项目实施后年产准分子激光气28000瓶,(其中193波长激光气0.95%f2+3.5%ar+ne\13.5%ar+10ppmxe+n各3000瓶;248波长激光气0.95%f2+1.25%kr+ne\1.25%kr+n各5000瓶;308波长激光气4.5%hcl+1%h2+ne\0.5%hcl+ne\100ppm-10%h2+n各4000瓶);高纯三氟化硼(bf3)提纯年产300吨;高纯四氯化硅(sicl4)提纯年产300吨;高纯八氟丙烷(c3f8)分装年产300吨;高纯一氧化二氮(n2o)分装年产3000吨;超纯二氧化碳(co2)分装年产10000吨;高纯氮分装年产3000吨;高纯氩分装年产3000吨;高纯氦分装年产20000瓶;液氦分装年产50吨;半导体级高纯气体纯化器年产1000套;超洁净钢瓶处理车间,年处理量20000只;生产工艺路线:空气→过滤→压缩→预冷→纯化→分馏→压缩储存;项目建设地点:安徽省合肥市新站高新技术产业开发区珠城西路与通宝路交口西北角;项目社会效益:项目建成后,满足市场需求,促进经济发展,增加就业机会