战略性半导体关键材料分装项目(天津绿菱气体有限公司)

此项目主要在自有厂房新增一条三氯氢硅生产线,主要新增设备有三氯氢硅储罐2台,充装系统(主要为充装气柜、电子秤、管路系统等)1套、残液处理系统(气瓶翻转装置及管路系统)1套、残液回收系统(残液回收罐及管路系统)1套、真空泵一台.主要的生产工艺以三氯氢硅为原料,通过分装得到小包装三氯氢硅产品.该产品主要用于半导体器件制造,产能为每年400吨.新建一座戊类车间,项目占地面积约为----,建筑面积约为----,主要建设内容为氨气分装,主要新增设备有缓冲罐 1 台、储罐 1台、汽化器 2 台、压缩机 4 台、真空泵3 台.主要的工艺以液氨为原料,通过分装得到小包装氨气产品,该产品主要应用于半导体器件制造、核磁共振以及光纤等领域,产能为 200 吨