高纯合成石英化学气相合成生产设施及配套项目(内蒙古亨芯石英有限公司)

大型

本项目主要建设内容包括：按主次顺序依次为CVD车间、研发中心、机加厂房、库房及配套用房。项目将购置生产及配套设备共计100台（套）。项目以外购四氯化硅、氢气、氧气作为原料，采用化学气相合成石英工艺生产高纯合成石英（纯度≥99.999%）。项目建成后，预计年产高纯合成石英材料200吨。