本项目内容为负责完成招标人新购的78台工艺设备和部分招标人指定的附属设备(6台燃烧水洗尾气处理器、1套大宗气体在线测试设备等)的安装并提供竣工资料等内容。主要工程内容:电气系统、大宗气体系统二次配管、特气系统(VMB/VMP到机台)、工艺冷却水系统(含冷水机)、集中供应的化学试剂供液系统(VMB到机台)、排气系统、废液排放系统、排水系统、超纯水系统、高真空泵管路及尾气处理系统、自来水、金属壁板开孔等二次配管配套工程;管路伴热带;伴热带温度收集系统(伴热带温度控制器到VMB)配线工程;布置动力源监控系统相关的数据线,比如纯化器、大宗气体品质监控系统等设备通讯信号线的安装(从各个设备点到消防控制室)等。
工程备注: 截止目前2024年1月15日,该项目处于设计阶段,预计2024年1季度开工