应用于高带宽存储芯粒的多晶圆三维集成技术研发及产业化(湖北江城芯片中试服务有限公司)

打造更高容量、更大带宽、更小功耗和更高生产效率的国产高带宽存储芯粒产品，新增设备5台/套，推进多晶圆堆叠工艺产业化，实现月产出能力≥200片。