3D NAND产线装备关键零部件开发及产业化应用(长江存储科技有限责任公司)

本项目组织开展关键零部件国产化研发攻关，对应零部件在3D NAND 存储器生产制造工艺中进行应用验证。本项目总投资27亿元，新增购置必要软硬件约40余台（套），采购额约13亿元。项目期内，相关零部件性能和可靠性达到长江存储产线应用要求。