高压SiC MOSFET工艺平台建设项目(西安卫光科技有限公司)

项目拟购置设备8台／套， 包含中束流高温离子注入机、 高温氧化炉、 高温退火炉等设备， 用于SiC芯片生产。 拟升级改造设备3台／套， 包Conceptone、 LAM9600等设备， 用于SiC产品自动精确对位和顺利传输需要。 拟开发重点工艺16项， 包含热氧生长、 PETEOS掩膜淀积等， 用于SiC芯片研制。建成后月产量可达500片。