光子芯片光纤陀螺规模化制造(中航捷锐(西安)光电技术有限公司)

(1)光子芯片加工平台，实现光子芯片的高精度低损耗刻蚀、膜层生长、芯片清洗；(2)光子芯片晶圆检测平台；(3)光子芯片封装平台，实现超细径保偏光纤阵列加工、六维高精度自动耦合等；(4)微型光纤环绕制平台；(5)陀螺电路调试平台；(6)陀螺装配及测试平台。在现有光纤陀螺生产制造平台的基础上，升级设备，扩大产能，形成集成光子芯片光纤陀螺年产能 20万轴的制造能力。