N型单晶硅生产工艺提升降耗项目(云南美科新能源发展有限公司)

本项目将在原本使用的干式真空泵基础上进行升级改造，快速实现N型大尺寸单晶在大热场中，通过降低炉内压实现降氧，最终达到能效降低，降本增产。 主要通过在原有干式真空泵上再增加一套增空泵，使二套系统进行串联，使其对炉内压进行抽空。在此基础上开发降低晶体中氧含量技术提升N型单晶产品生产工艺，使N型单晶中氧含量由原来的12ppm降至10.5ppm，氧反切率由原来的5%降低至2%，从而缩短生产时效降低能耗，实现炉台日均单产增加5kg，本次技术改造涉及1000台单晶炉。