大学城校区半导体微纳加工研发及平台建设项目(广东工业大学)

项目地址：

定位

项目概况

更新时间： 2024-06-18（发布：2024-06-18）

项目阶段： 2024-06-18处于EPC总承包招标

建设周期： 2024年4季度 - 2025年3季度

项目类型：

面积：

投资金额： 6351万

建设性质：新建

甲方类型： --

项目描述

本项目内容为广东工业大学大学城校区理学馆一层拟建设半导体微纳加工研发及平台实验室，实验室洁净等级百级、千级，总体改造面积约为1800----米，其中洁净区域约1000----米，配套设施用地约800----米。平台预期将具备基于6英寸晶圆的硅工艺全流程制造能力，可制备各种自定义的半导体薄膜材料及器件、CMOS器件及电路等，满足集成电路领域微纳加工研发及平台需求

项目工期及阶段

工程备注：截止目前2024年6月18日，该项目处于立项阶段，预计2024年4季度开工