半导体先进装备研发制造中心项目(一期)厂务自控(FMCS)系统(青岛四方思锐智能技术有限公司)

本项目内容为装备制造中心车间约22137----米，动力中心约4125----米。其中装备制造中心车间为丙类生产的电子工业洁净厂房（丙2类），建筑层数为地上两层。地上一层洁净区包含设备组装区（万级）、研发试验室（千级）、工艺测试区（百级），非洁净区包含中间库房、门厅、参观走道及其他生产相关的动力辅助性房间。地上二层主要包括研发试验区及预留试验区、中间库房、动力支持用房（变电所、 洁净空调机房）等。动力中心为多层丙类厂房，建筑层数为地下一层，地上三层。主要包含锅炉房、纯水站、冷机房、变配电室、空压机房、工艺冷却水房等。