MPCVD工艺高速生长3英寸金刚石自支撑光学窗口研发及产业化(湖北瑞华科技有限公司)

大型

开发出MPCVD批量外延生长3英寸金刚石圆片的工艺流程，突破金刚石薄膜大面积、高速生长关键工艺技术。新建1个11000平米信息化、数字化、智能化MPCVD车间，包含金刚石材料生长、清洗、切割等，年产1000片以上大尺寸光学窗口金刚石材料。