扩建项目(上海新傲科技股份有限公司)

大型

利用200号厂区现有生产车间，对现有8台外延炉技术改造，并增加1台外延炉，用于砷烷掺杂外延硅晶片的生产，新增2台IPA设备用于部分产品的干燥工艺，新增辅助气源反-1,2-二氯乙烯用于SOI炉管氧化等。新增1套氨氮废水处理设施和1套含砷废水处理设施。技改后原外延片产品部分产能调整为砷掺杂外延片，全厂外延硅晶片总产能不变。