恒格微电子半导体晶圆等离子刻蚀设备,在线等离子除胶系统设备研产基地(珠海恒格微电子装备有限公司)

大型

该项目主要建设为：( 一 ) 碳化硅刻蚀设备替代长期依赖进口的产品，由恒格专家团队合力开发的国产碳化硅刻蚀设备，采用创新技术，提高刻蚀速率及刻蚀均匀性，通过更换部分备件可满足TGV、TCV、TSV等工艺需求，解决半导体高端制造设备的“卡脖子”问题；（二）静电吸盘作为半导体装备的核心部件，长期被国外厂商垄断，公司研发出来静电吸盘，解决国产半导体高端装备核心零部件被“卡脖子”问题，并且研发出独特的设计，可以提高温度均匀性，满足日益严苛的工艺需求。