晶圆级微光机电器件研发与中试平台新建项目(湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城))

大型

项目建于香山雅苑南区湖大粤港澳大湾区创新研究院（广州增城），拟建设总面积3000----米的微光机电器件研发验证与中试熟化平台，其中超净实验室2700----米，超算机房300----米。平台将购置电子束光刻机、高速激光直写设备、高分辨接触式光刻机、离子束镀膜与刻蚀、ICP刻蚀等泛半导体制造设备及搭建完整的标准软件库及平台管理系统。通过四年建设，形成具有定制开发、小批量交付能力的晶圆级微光机电器件研发验证与中试熟化平台，具备快速定制化的先进制造加工能力，有力支撑广东泛半导体相关的新兴产业及未来产业的发展。