"激光微纳曝光设备"项目实验室净化改造项目(中国科学院上海光学精密机械研究所)

本项目内容为中国科学院上海光学精密机械研究所“激光微纳曝光设备”项目实验室净化改造工程，预算金额354.000000 万元（人民币），改造区域建筑面积约为229m2。主要为洁净装修墙板、地面、顶面、给排水、工艺冷却水系统、风管系统、空调设备更新、电力系统、自控系统等。改造前该区域为万级洁净实验室，改造后提升至百级洁净实验室。