电子气体国产化生产项目(榆林启迈科技有限公司)

大型

年产12万标方氖气、4万标方氦气、1.2万标方氪气、1200标方氙气、1.5万瓶准分子激光气、其他半导体生产中所需特种气体及包含电子气体生产装置及充装设施、生产控制室、综合办公楼、原料及产品罐区、原料及产品汽车装车站等配套设施。