集成电路电子级新材料项目(榆林高新产业发展有限责任公司)

大型

一期建设电子芯片级和航天级氙气、电子芯片级氪气、电子级氦气、芯片光刻机准分子激光混配气；二期建设电子级氙同位素气体（124Xe、129Xe、131Xe、136Xe等）、电子级氪同位素气体（78Kr、86Kr）、电子级氖同位素气体（20Ne、22Ne）。