大尺寸集成金刚石基片生产基地(延安明锦新能源有限公司)

大型

计划新建3000平米，以实际规模生产工厂方式安装40套MPCVD设备及相应的配电设备，中控设备；安装两套集中真空系统，一套5通道集中供气系统及两个气瓶间，两套电解制氢系统，一套钯膜氢气纯化系统，两套中央冷却系统。