高分辨率气体传感器项目(江西杰创半导体有限公司)

项目生产车间面积约为1000----米， 主要设备有MOCVD、镀膜机、BAR、解理机、芯片测试机等；工艺流程为：外延—光栅刻制—二次外延—台阶制备—三次外延—四次外延—P电极制作—减薄抛光—N电极制作—解理—增透膜、增反射膜制作；项目预计年耗电量50万度，年耗水120吨，达产年300万颗制作芯片生产规模。