珠海微图科技年产100台LDI激光曝光机设备新建项目(珠海微图科技有限公司)

项目专线生产双面同步LDI激光曝光机（微米光刻机）设备，设计生产能力100台/年。建设生产总装车间、研发、销售及综合办公等，配套建设4层，占地面积1050----米，建筑面积4200----米。