年产100颗太赫兹量子级联激光器项目(江西万骏光电有限公司)

项目内容包括：（1）完善半导体芯片余器件工艺平台。对现有净化间进行改扩建，建设功能齐全满足太赫兹量子级联激光器工艺要求的生产环境。（2）完善分子束外延（MBE）材料生长系统。采用MBE技术生长半导体异质结构材料，质量控制在原子级精度。（3）扩大对超纯水设备进行扩容，以满足半导体芯片制造工艺所需纯水要求。项目建成后年耗电量不超过500万度，年耗能不超过1000吨标煤。