6英寸MEMS晶圆中试生产线和研发平台建设(北京海创微元科技有限公司)
项目地址： 
定位
定位 项目概况
更新时间： 2025-12-31（发布：2024-02-01）
项目阶段： 2025-12-31处于主体施工开工
建设周期： 2026年1季度 - 2027年1季度
项目类型：工业、教育及研究设施、教育及研究设施
面积：
投资金额： 50000万
建设性质： 新建
甲方类型： 私营企业
项目描述
本项目建设定位为具备研发与生产一体的mems晶圆中试生产线,聚焦新产品开发、现有技术、生产工艺优化、规模化生产验证等任务,为现有生产线输送更先进稳定的产品技术,为未来新建生产线储备多层次、全方位的技术保障.设计产能3000片/月主要包括duv光刻机、pvcvcmp等设备,本项目不新增建筑面积
项目工期及阶段
工程备注： 截止目前(2025年12月31日)，该项目处于主体施工阶段
项目动态 1
2025-12-31
更新项目概
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