碳化硅高温离子注入机研发与产业化项目(艾恩(山东)半导体科技有限公司)

大型

此项目改造装修现有车间,建筑面积----,新购置机械手、电加热水洗、源磁铁、高压电源等离子注入机相关零部件,主要用于碳化硅离子注入机的研发与设计.项目优化了光路、al离子源仿真改进,自研金属al源寿命长≥150小时;改进了束流和剂量的测量与控制方法,autoturnbeam成功率>90%,生产效率是同类型设备的1.5倍以上;重构了软件系统,设备控制、人机操作及数据处理完全分离,双控制系统;成环形状或四象限区域分布,一次性实现四种工艺条件,可在一片晶圆的四个象限同时注入不同剂量