玉之泉光刻机产研基地项目(浙江省杭州市)

大型

建设光学仪器制造基地，总建筑面积----，其中地上建筑面积----，地下建筑面积----。该基地主要建设内容为掩模版光刻设备及CGH光刻设备的研发与生产，生产规模达年产100台。