年产100台纳米压印光刻技术装备制造中心技术升级改造项目(青岛天仁微纳科技有限责任公司)

大型

项目生产规模年产100余台纳米压印光刻设备，建设面积总计1.8万余----米，其中包括建设百级无尘洁净室8000 ----米和千级洁净室4000 ----米，百级洁净室用于纳米压印先进工艺技术研发、压印工艺咨询等技术服务，千级洁净室用于开展纳米压印工艺所需基础物料（对准标记，工作模具，纳米压印胶等）的制备并进行压印工艺验证实验（本项目的压印工艺验证实证不形成实际产能）。6000 ----米车间用于纳米压印光刻设备的批量组装生产及调试，拟采购工艺生产设备三十余套，包括电子束直写光刻机（EBL）、等离子体增强化学沉积（PECVD）、金属层生长（sputter）设备、KLA P17 表面轮廓仪、三坐标显微镜等设备。