金刚石半导体材料专用装备制造项目(碳方程半导体设备制造(山西)有限公司)

现有厂房内，搭建设备研发中心、工艺研发中心、装备组装生产中心、调试中心，进行金刚石半导体材料专用装备制造。 项目投产后，年产金刚石半导体材料长晶设备100台，切割设备50台套，研磨设备50台套。