集成电路零部件广东省项目研究中心(广东省大湾区集成电路与系统应用研究院)

本项目计划投资5000万元，围绕集成电路关键零部件严重依赖进口、自主可控能力薄弱等核心问题，依托已有约6000----米的研发平台开展集成电路零部件广东省工程研究中心的建设（不涉及产能建设），聚焦薄膜沉积、量检测、涂胶显影三大设备的关键零部件研发，突破精密加工、耐腐蚀技术等多项关键共性技术，并开发复合式大抽速干泵等核心装备零部件。