该项目为技改工程,基于水平气流行星多片式mocvd技术路线,开展化合物外延材料制备用mocvd设备技术攻关和装备研制,实现gaas、inp、gan、sic多种材料用mocvd设备研发和工程化应用:根据不同化合物材料特性,开展mocvd核心生长系统、传送系统、气体输运系统、尾气处理系统等分系统技术验证与制造以及mocvd整机集成与交付条件建设,建立不同化合物材料外延用mocvd整机生产、检测、交付所需要的场地、设备仪器、软件、工程设计、生产、可靠性试验与应用考核评估等系统支撑能力条件.项目执行完成后,mocvd设备形成销售10000万元
工程备注: 截止目前(2025年9月22日),该项目为技改工程,无设计及施工单位。