河南省科学院中原量子谷仪器共享中心十一期建设项目(河南省科学院激光制造研究所)

大型

包1：薄膜厚度测量仪1套、中心偏差测量仪1套、显微分光膜厚仪1套、显微分光测定仪1套、光谱分析仪1套、波前传感器1套、精密测角仪1套；包2：凝胶渗透色谱仪1套、激光闪光导热仪1套、热机械分析仪1套、熔点仪1套、半固体和固体密度分析仪1套、动态热机械分析仪1套、压汞仪1套、视频光学接触角测量仪1套；包3：脉冲激光沉积系统1套、重复频率锁相同步电路1套、纳米压痕仪1套、摩擦磨损试验机1套、微纳米焦点工业ct实时成像系统1套；包4：非接触3d非球面光学面形测量系统1套、纳米粒度及zeta电位分析仪1套、激光粒度仪1套；包5：太阳能电池/oled器件瞬态特性测量系统1套、oled/led多角度光谱测量系统1套、接近式光刻机1套、精密纳米材料沉积系统1套、椭偏仪1套。