国科(武汉)光学产业园建设项目(国科(武汉)光学科技有限公司)

大型

拟建设93380----米先进衍射光学微纳制造产业化项目，其中拟配置20余台套国际领先的工艺设备，包括一个超净环境单元、光刻单元、刻蚀单元、沉积单元、表征单元和辅助单元等5个工艺单元设备，实现先进衍射光栅纳米加工核心技术及稳定的8英寸模板制备工艺。拟建研发测试中心、生产车间、其它生产辅房。