微纳平台验证线二期(甬江实验室)

二次配装机衔接部分采用“总包”模式，包括所有半导体设备(简称“机台”)装配连接、以满足洁净室环境要求、生产机台安全、可靠和稳定需求的装机工程。承包单位提供包含二次配装机工程的设计、施工和验收的专业服务，并对工作范围内的安全、质量、进度及文档管理全面负责。