高端半导体制造用G5级湿电子化学品概念验证及中试熟化平台(佛山西陇化工有限公司)

建设一个高端半导体制造用G5级湿电子化学品概念验证及中试熟化平台。包括G5级湿电子化学品研发实验室和中试示范线的建设，以及配套的产品分析检测实验室的建设。