面向核材料与金属催化材料的X射线和γ射线谱学分析仪器研发平台建设项目(先进能源科学与技术广东省实验室)

项目通过购置中低温超导芯片生长所用的高真空电子束溅射及磁控溅射镀膜设备、光刻设备、离子注入设备、激光刻蚀设备、键和设备、退火设备、以及膜厚检测设备等，搭建X射线和γ射线谱学分析仪器研发平台，建成后用于核材料与金属催化材料分析研发。