高精度光谱芯片关键技术研发与产业化(长春长光辰谱科技有限公司)

建设光谱芯片制造产线,主要包括:洁净:建设百级洁净室(----)满足镀膜及光刻工艺环境需求.2.制造工艺设备:配置像元级镀膜系统(高真空蒸发镀膜机+等离子清洗机)、高精度光刻机、刻蚀机、匀胶机、烤胶机.3.检测设备:购置光谱分析仪、sem、台阶仪等检测设备.4.辅助设施:超纯水系统、气体供应及废气处理设备.项目建成后可实现光谱芯片小批量试制,推动国产化替代.主要是技改项目