200条磷化铟单晶生产线建设项目(台山市华兴光电科技有限公司)

大型

项目占地面积66670----米，建筑面积约40000----米。拟建设2栋2层生产车间，1栋3层原料车间，1栋4层云计算办公中心，以及仓储和配套堆场、园区景观、消防、环保的基础设施。主要产品为2寸，3寸，4寸及6寸等尺寸的磷化铟单晶材料，项目建成后将具备年产预磷化铟单晶片20万片的能力。主要设备有单晶生长炉，半导体切割机，半导体抛光机，研磨机，滚圆机，自动化液氮封装机等，以及霍尔检测仪，晶相仪等检测设备。主要工艺流程为原材料洁净清洗-烘烤-封管-生长-晶相检测-滚圆-切片-晶片抛光-霍尔检测-液氮封装。