基于全国产材料的先进工艺光掩模版上游石英基板(长飞石英技术(武汉)有限公司)

购置双面加工设备5台，超高精度干涉仪1台，扩束设备1台，D600槽沉炉1台，大尺寸环抛设备1台；建设洁净间300平米，用于石英材料的测试及抛光加工；配套供配电、给排水、环保、消防等设施，掩模基板石英原材料形成量产能力，支撑先进工艺用光掩模版石英基板研发及生产线验证。