新增UV曝光机光源及EUV172nm极紫外光清洗机光源生产线技改项目(微特瑞光电技术(嘉兴)有限公司)

建设规模与建设内容(生产能力) uv紫外线曝光光源和euv172nm极紫外线光源广泛的应用于半导体、平板显示、新能源电池的生产设备上,目前上述两种光源主要从欧美和日本进口,国内几乎没有生产.微特瑞光电技术(嘉兴)有限公司uv曝光机光源及euv172nm极紫外光清洗机光源技改项目有望在该领域完成国产化替代,为蓬勃发展的国产半导体、lcoled显示行业及新能源电池行业提供可靠的关键部件供应.技改项目用到的主要原材料包括超高纯石英玻璃管、钨电极、钼片、铂金片、纳米氧化铝涂料、氙气、黄金浆、乙酸丁酯溶剂、超高纯汞、陶瓷件、金属件和电线等.