新一代高性能化合物半导体外延片智能制造与产能提升项目(西安唐晶量子科技有限公司)

大型优质

项目建设规模：拟购置30台（套）硬件设备，其中涵盖MOCVD清洗机（mocvd scrubber）、高温炉等具备国际先进水平的核心工艺设备。同时，部署以企业资源计划系统（ERP）、制造执行系统（MES）为核心的智能化生产管理系统，开展产线升级与智能化改造工作，以此提升化合物半导体外延片制造的高端化水平。项目达产年可新增高性能化合物半导体外延片产能50,000片。