先进功率器件6英寸FRMOS背道工艺年产18万片、IGBT背道工艺年产6万片项目(浙江芯微泰克半导体有限公司)

大型

购置薄片减薄机、Taiko减薄机、大束流注入机、双面光刻机、金属蒸发台等生产及辅助设备，配套建设废气、废水收集处理设施，形成年产6英寸FRMOS背道工艺产品18万片、IGBT背道工艺产品6万片的生产能力。