生产工艺:MPCVD,全称是“微波等离子体化学气相沉积”利用微波来激发反应气体(含碳气体),使其分解成原子或分子,然后在衬底(金刚石单晶片、硅片等)表面上沉积出所需的单晶或多晶金刚石材料。金刚石材料主要用于半导体级金刚石晶圆、散热片、电子器件及培育钻石,满足高功率芯片散热、精密加工等需求,依托国际一流 MPCVD 设备,结合自研工艺,实现 4 英寸到8英寸面积不同规格单晶、多晶片晶圆量
产能力。建设厂房3000----米,年产200万克拉金刚石材料,一年内建成50台以上MPCVD设备产线,实现量产。产线成熟后目标占据国内细分市场20%以上份额。
工程备注: 截止目前2025年11月14日,该项目处于立项阶段