高真空多功能复合薄膜沉积项目(上海交通大学)

采购设备包括：1套真空多腔体磁控溅射系统，技术要求包括进样室电解抛光SUS316L不锈钢真空腔室、前开门设计、双胶圈差分抽气密封、升降电缸、烘烤功能等；1套超高真空低温电子束蒸发系统，包含进样/表面预处理腔室、2个电子束蒸发室及氧化室共四个超高真空腔室，其中1套支持倾斜及旋转；1套氧化铪原子层沉积设备，前驱体不少于4个单管式50ml固体液体源，其中2个源瓶带加热器，加热精度180±1ºC。合同签订后12个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格。