多腔体Kiteav链制备系统(上海交通大学)

采购1套多腔体Kiteav链制备系统，半导体工艺腔内径不小于500mm，腔体采用316L不锈钢制造，充分烘烤后背底气压优于7E-11Torr，配置12个不小于DN63 CF的源炉法兰口，并配备主挡板、样品台、样品传输、快门、反射式高能电子衍射仪、荧光屏、残余气体分析仪、束流监测器（BFM）、观察窗和泵浦系统等配件的相应法兰口。