先进制程用静电卡盘研发及产业化项目(湖北芯陶科技有限公司)

大型

项目拟购置球磨设备、烧结装置、研磨机床等设备，完成刻蚀领域用静电卡盘、PVD领域静电卡盘、CVD领域静电卡盘、IMP领域静电卡盘、多区陶瓷加热盘等研发及产业化能力建设，形成年产3000颗先进制程用静电卡盘的生产能力。