真空阀门类零部件研发及产业化项目(宁波江丰芯创科技有限公司)

大型

拟购置高精度五轴加工中心,高速精雕机,颗粒度检测仪等国内先进研发测试设备:1,重点攻关半导体精密零部件铝合金材料,机械式自锁气体控制阀技术,高仿真测试平台等技术;2,构建集"材料仿真制造测试"于一体的全链条研发与产业化平台;3,形成真空传输阀,插板阀,蝶阀,摆阀,角阀,垂直阀等全部真空阀门零部件研发和生产能力,满足7纳米工艺要求,并可用于下一代先进工艺节点,为实现国产替代,保障集成电路供应链安全稳定提供重要支撑;4,工艺流程:半导体级铝合金原材料粗加工真空焊接精密机加工表面处理装配包装检验成品.