中芯京城集成电路生产线项目(中芯京城集成电路制造(北京)有限公司)

大型

建设内容：为生产工艺需要，在生产厂房新增安装56台离子注（植）入装置和6台其他各类X射线检测装置（测厚、称重、测孔径、测密度等）等Ⅲ类射线装置，共计62台。建设规模：在生产厂房新增安装56台离子注（植）入装置和6台其他各类X射线检测装置（测厚、称重、测孔径、测密度等）等Ⅲ类射线装置，共计62台。1.新增56台离子注（植）入装置，其中包括11台设备型号Istellar-500高束流离子注入机,最大管电压60KV，管电流15mA,23台设备型号VIISTa Trident高束流离子注入机，最大管电压60KV，最大管电流18mA，4台设备型号Purion XE高能离子注入机，最大管电压90KV，最大管电流60mA，8台设备型号VIISta 900XPT中束流离子注入机，最大管电压230KV，最大管电流2.2mA，9台设备型号CI P900中束流离子注入机，最大管电压230KV，最大管电流2.2mA，1台设备型号CI E4500高能离子注入机，最大管电压90KV，最大管电流2mA。2.新增6台其他各类X射线检测装置（测厚、称重、测孔径、测密度等）包括如下，2台设备型号G6电子扫描显微镜，最大管电压15KV，最大管电流0.0000025mA，1台设备型号G10电子扫描显微镜，最大管电压25KV，最大管电流0.0000025mA，2台设备型号Helios 5 CHX聚焦离子显微镜，最大管电压30KV，最大管电流0.0001mA，1台设备型号ARM200透射电镜，最大管电压200KV，最大管电流0.0146mA。