离子注入机项目(中电科芯片技术(集团)有限公司)

一、建设内容 使用离子注入机 二、建设规模 1、使用VIISta HCP型离子注入机（最大管电流40KV、最大管电流5mA 数量1台）射线装置具体使用位置：离子注入机使用地点位于213楼净化间注入区。