半导体用刻蚀气项目(EPC)(昊华气体有限公司)

项目地址：

定位

项目概况

更新时间： 2026-03-16（发布：2025-12-02）

项目阶段： 2026-03-16处于主体施工开工

建设周期： --

项目类型：工业

面积：

投资金额： 13527万

建设性质：新建

甲方类型：政府部门、国企、事业单位

项目描述

本项目拟在洛阳基地新建一套刻蚀气生产装置,采用具有自主开发的吸附、精馏等纯化技术对原材料进行提纯,总产能达1440吨/年包含400吨/年溴化氢、30吨/年三氟化硼、50吨/年一氟甲烷、60吨/年二氟甲烷、200吨/年三氟甲烷、100吨/年六氟乙烷、400吨/年八氟环丁烷、200吨/年六氟丁二烯等八个产品

项目工期及阶段

工程备注：截止目前(2026年03月16日),EPC单位刚刚确定.