扩增离子注入机生产项目(爱发科真空技术(苏州)有限公司)

本项目位于苏州工业园区苏红东路277号，拟依托现有26214.04----米生产厂房，扩增离子注入机生产项目。原年产离子注入机60台，型号是IH-860，管电压400kV，管电流1.3mA。本次扩增年产离子注入机100台，其中50台型号是IH-1200PSIC，管电压400kV，管电流2mA；另外50台型号是SOPHI-400，管电压400kV，管电流0.9mA。扩增后生产规模为年产离子注入机160台。