康桥二期项目(调整)(上海华力集成电路制造有限公司)

大型

上海华力集成电路制造有限公司康桥二期项目（调整）新增35台辐射设备。1）X射线荧光分析仪增设3台（Ⅲ类X射线装置），位于FAB8A F2 3F；2）高分辨率X射线衍射仪增设1台，位于FAB8A F2 3F；3）离子注入机增设31台（Ⅲ类X射线装置），位于FAB8A F2 3F。